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  • 子嘉多系列高精度質量流量控制器










    *廣大量程比200:1,一台量測範圍可抵多台,節省庫存
    (500sccm滿刻度, 實際量測範圍2.5~500sccm)
    *30種內建好氣體,多種電器接頭可選
    *超快控制速度0.1秒,在濺鍍時避免靶材毒化,均勻鍍膜
    *安裝無方向性限制、無直管徑前十後五的限制
    *無熱機時間,插電即用
    *搭配Flow Vision SC 軟體,設定、控制、擷取、紀錄、輸出流量計數據
    *流量範圍: 從0~0.5SCCM 到0~4,000SLPM


    MC高精度多種氣體質量流量計/控制器
    經典款MFC
    提供腐蝕性氣體/防爆型選購
    內校30種氣體:可切換不同氣體使用,節省購買成本
    應用:鍍膜、燃料電池、洩漏測試、發酵槽氣體控制

    Whisper 微壓制量流量計/控制器
    超低3.6 mbar or 0.052 psi壓降!
    提供0.5 SCCM 到 500 SLPM範圍可選
    應用:洩漏檢查、氣體分析、天然氣應用

    Basis OEM質量流量計/控制器
    價格低廉,經濟實惠
    適用於機台安裝,節省成本
    提供閥體後製選項,適用於真空應用